研究キーワード	research interests	プラズマ材料科学,薄膜,プラズマプロセス	プラズマ材料科学,薄膜,プラズマプロセス

研究分野	research research_areas	薄膜、表面界面物性,電気電子材料工学,プラズマ科学	Thin-film surfaces and interfaces,Electric/electronic material engineering,Basic plasma science

学歴	education	2001年04月 － 2004年03月 熊本大学 大学院自然科学研究科 1999年04月 － 2001年03月 熊本大学 大学院自然科学研究科 1997年04月 － 1999年03月 熊本大学 工学部 1992年04月 － 1997年03月 佐世保工業高等専門学校 2001/04 － 2004/03 Kumamoto University Graduate School of Science and Technology 1999/04 － 2001/03 Kumamoto University Graduate School of Science and Technology 1997/04 － 1999/03 Kumamoto University Faculty of Engineering 1992/04 － 1997/03 National Institute of Technology, Sasebo College

経歴	experience	2026年08月 － 長崎大学 大学院 総合生産科学研究科 電気・機械システム分野 教授 2023年11月 － 2026年08月 長崎大学 総合生産科学域マイクロデバイス総合研究センター（CAMRIS） センター長 2023年04月 － 2026年08月 長崎大学 大学院工学研究科 電気・情報科学部門 電気電子工学分野 教授 2020年12月 － 2023年03月 九州大学 大学院システム情報科学研究院 准教授（クロスアポイントメント） 2010年04月 － 2023年03月 佐世保工業高等専門学校 電気電子工学科 准教授 2004年04月 － 2009年03月 佐世保工業高等専門学校 電気電子工学科 講師 2003年04月 － 2004年03月 佐世保工業高等専門学校 電気工学科 助手 2026/08 － Nagasaki University Graduate School of Integrated Science and Technology 教授 2023/11 － 2026/08 Nagasaki University 総合生産科学域マイクロデバイス総合研究センター（CAMRIS） センター長 2023/04 － 2026/08 Nagasaki University 大学院工学研究科 電気・情報科学部門 電気電子工学分野 教授 2020/12 － 2023/03 九州大学 大学院システム情報科学研究院 准教授（クロスアポイントメント） 2010/04 － 2023/03 National Institute of Technology, Sasebo College Department of Electrical and Electronic Engineering 准教授 2004/04 － 2009/03 National Institute of Technology, Sasebo College Department of Electrical and Electronic Engineering 講師 2003/04 － 2004/03 National Institute of Technology, Sasebo College 電気工学科 助手

委員歴	committee memberships	2023年10月 － 日本学術会議 第26期連携会員 2023年04月 － 日本学術振興会 R052DXプラズマプロセス委員会学界委員 2022年04月 － 日本表面真空学会 九州支部役員 2012年09月 － レーザー学会 九州支部役員 2009年04月 － 応用物理学会 九州支部理事 2024年11月 － 2032年03月 長崎県 長崎県総合計画・総合戦略懇話会委員 2026年04月 － 2028年03月 日本表面真空学会 協議員 2025年04月 － 2027年03月 日本表面真空学会 会誌編集委員会委員 2025年04月 － 2027年03月 日本表面真空学会 ダイバーシティ推進委員会委員 2025年11月 － 2026年10月 応用物理学会 SSDM事務局 SSDM2026 実行委員 2023/10 － 日本学術会議 第26期連携会員 2023/04 － 日本学術振興会 R052DXプラズマプロセス委員会学界委員 2022/04 － 日本表面真空学会 九州支部役員 2012/09 － レーザー学会 九州支部役員 2009/04 － 応用物理学会 九州支部理事 2024/11 － 2032/03 長崎県 長崎県総合計画・総合戦略懇話会委員 2026/04 － 2028/03 日本表面真空学会 協議員 2025/04 － 2027/03 日本表面真空学会 会誌編集委員会委員 2025/04 － 2027/03 日本表面真空学会 ダイバーシティ推進委員会委員 2025/11 － 2026/10 応用物理学会 SSDM事務局 SSDM2026 実行委員 さらに表示する more

所属学協会	association memberships	日本表面真空学会,プラズマ・核融合学会,電気学会,応用物理学会,レーザー学会	日本表面真空学会,プラズマ・核融合学会,電気学会,THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS,THE LASER SOCIETY OF JAPAN

受賞	awards	2023年01月 プラズマ材料科学賞選考委員会 奨励部門賞 2022年03月 ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 The Best Short Presentation (poster) Awards 2021年03月 国立高等専門学校機構 令和２年度教員顕彰 優秀賞 2011年01月 第21回日本MRS学術シンポジウム 奨励賞 2002年03月 電気学会九州支部論文発表B賞 2023年01月 プラズマ材料科学賞選考委員会 奨励部門賞 2022年03月 ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 The Best Short Presentation (poster) Awards 2021年03月 国立高等専門学校機構 令和２年度教員顕彰 優秀賞 2011年01月 第21回日本MRS学術シンポジウム 奨励賞 2002年03月 電気学会九州支部論文発表B賞

論文	papers	Crystal Al-Doped ZnO Thin-Film Preparation by Sputtering Deposition using a Mixed-Powder Target Takahiko Satake,Tamiko Ohshima,Shin ichi Aoqui,Hiroharu Kawasaki International Journal of Recent Development in Engineering and Technology 13巻3号1頁-7頁 2024年03月10日 Sputtering Deposition With Low Cost Multi-Element Powder Targets Tamiko Ohshima IEEE Open Journal of Nanotechnology 4巻172頁-180頁 2023年10月27日 Preparation of functional thin films with elemental gradient by sputtering with mixed powder targets Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Kazuhiko Mitsuhashi,Hiroshi Nishiguchi,Yoshiaki Suda Japanese Journal of Applied Physics 61巻SA号SA1019頁-SA1019頁 2021年12月15日 Preparation of Ni-doped stainless steel thin films on metal to prevent hydrogen entry via sputter deposition with a powder target Hiroharu Kawasaki,Hiroshi Nishiguchi,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara Japanese Journal of Applied Physics 60巻SA号SAAB10頁-SAAB10頁 2021年01月01日 Preparation of Multielements Mixture Thin Film by One-Step Process Sputtering Deposition Using Mixture Powder Target Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Yoshiaki Suda IEEE Transactions on Plasma Science 49巻1号48頁-52頁 2021年01月 Preparation of two-dimensional thin films by backside irradiation pulsed laser deposition method using powder target Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Masanori Shinohara,Yoshiaki Suda JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59巻 2020年01月 Deposition of hydrophilic amorphous carbon film with ether as a source molecule and analysis of its deposition reaction Masanori Shinohara,Taisuke Tominaga,Hayato Shimomura,Takeshi Ihara,Yoshihito Yagyu,Tamiko Ohshima,Hiroharu Kawasaki ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN 102巻4号3頁-9頁 2019年04月 IR absorption spectroscopy of deposition process of amorphous carbon film due to ethylene plasma Masanori Shinohara,Taisuke Tominaga,Hayato Shimomura,Takeshi Ihara,Yoshihito Yagyu,Tamiko Ohshima,Hiroharu Kawasaki ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN 102巻4号10頁-17頁 2019年04月 Preparation of Sn doped SiO2 thin films by magnetron sputtering deposition using metal and metal oxide powder target Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Masanori Shinohara,Yoshiaki Suda Jpn. J. Appl. Phys. 58,巻SA号SAAD04頁- 2019年02月 Preparation of metal doped SiO2 films by magnetron sputtering deposition using metal oxide mixture powder target H. Kawasaki,T. Ohshima,Y. Yagyu,T. Ihara,M. Shinohara,Y. Suda Trans. Mat. Res. Soc. Japan Vol. 43巻No.1号27頁-30頁 2018年02月 Crystal Al-Doped ZnO Thin-Film Preparation by Sputtering Deposition using a Mixed-Powder Target Takahiko Satake,Tamiko Ohshima,Shin ichi Aoqui,Hiroharu Kawasaki International Journal of Recent Development in Engineering and Technology 13.3.1-7 2024/03/10 Sputtering Deposition With Low Cost Multi-Element Powder Targets Tamiko Ohshima IEEE Open Journal of Nanotechnology 4.172-180 2023/10/27 Preparation of functional thin films with elemental gradient by sputtering with mixed powder targets Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Kazuhiko Mitsuhashi,Hiroshi Nishiguchi,Yoshiaki Suda Japanese Journal of Applied Physics 61.SA.SA1019-SA1019 2021/12/15 Preparation of Ni-doped stainless steel thin films on metal to prevent hydrogen entry via sputter deposition with a powder target Hiroharu Kawasaki,Hiroshi Nishiguchi,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara Japanese Journal of Applied Physics 60.SA.SAAB10-SAAB10 2021/01/01 Preparation of Multielements Mixture Thin Film by One-Step Process Sputtering Deposition Using Mixture Powder Target Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Yoshiaki Suda IEEE Transactions on Plasma Science 49.1.48-52 2021/01 Preparation of two-dimensional thin films by backside irradiation pulsed laser deposition method using powder target Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Masanori Shinohara,Yoshiaki Suda JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59. 2020/01 Deposition of hydrophilic amorphous carbon film with ether as a source molecule and analysis of its deposition reaction Masanori Shinohara,Taisuke Tominaga,Hayato Shimomura,Takeshi Ihara,Yoshihito Yagyu,Tamiko Ohshima,Hiroharu Kawasaki ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN 102.4.3-9 2019/04 IR absorption spectroscopy of deposition process of amorphous carbon film due to ethylene plasma Masanori Shinohara,Taisuke Tominaga,Hayato Shimomura,Takeshi Ihara,Yoshihito Yagyu,Tamiko Ohshima,Hiroharu Kawasaki ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN 102.4.10-17 2019/04 Preparation of Sn doped SiO2 thin films by magnetron sputtering deposition using metal and metal oxide powder target Hiroharu Kawasaki,Tamiko Ohshima,Yoshihito Yagyu,Takeshi Ihara,Masanori Shinohara,Yoshiaki Suda Jpn. J. Appl. Phys. SAAD04 58,.SA.SAAD04- 2019/02 Preparation of metal doped SiO2 films by magnetron sputtering deposition using metal oxide mixture powder target H. Kawasaki,T. Ohshima,Y. Yagyu,T. Ihara,M. Shinohara,Y. Suda Trans. Mat. Res. Soc. Japan Vol. 43.No.1.27-30 2018/02 さらに表示する more

MISC

スフェロイド培養したHep G2細胞に多孔質膜プラズマ源が与える影響 柳生義人,馬塲雄成,大島多美子,日比野祐介,竹市悟志,佐竹卓彦,猪原武士,川崎仁晴,林信哉 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st巻 2024年 粉体ターゲットプロセスによるFe,Ni,Ti混合傾斜機能性膜の作製 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦,青木振一 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th巻 2022年 生体内がん治療に向けたプラズマデバイスの開発および肝がん細胞への照射効果 浜村航大,柳生義人,馬塲雄成,大島多美子,日比野祐介,猪原武士,佐竹卓彦,川崎仁晴,林信哉 プラズマ・核融合学会年会(Web) 39th巻 2022年 プラズマプロセスによる水素脆性防止膜の作製と評価 IV 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,西口廣志 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th巻 2021年 スパッタリング法を用いた積層構造を有する光学薄膜の作製 戸水雄斗,大島多美子,日比野祐介,猪原武士,柳生義人,川崎仁晴 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 47巻 2021年 粉体ターゲットスパッタリングによる傾斜機能性膜の作製 II 須本航輝,鴛淵梨花,川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 47巻 2021年 高速高圧ゲートドライブによる小型ナノ秒パルス電源の開発とその応用 道上竣介,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴 電気学会基礎・材料・共通部門大会(Web) 2021巻 2021年 粉体ターゲットを用いたスパッタリング成膜による材料探索範囲拡大への可能性 大島多美子,川崎仁晴,柳生義人,猪原武士,須田義昭 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2021巻 2021年 プラズマプロセスによる水素脆性防止膜の作製と評価 II 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,篠原正典,西口廣志 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th巻 2020年 気液混相流内ナノ秒パルス放電を用いた水素生成における生成エネルギー効率 猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 46巻 2020年 Effect of a Novel Plasma Source Covered with a Porous Membrane for in vivo Cancer Treatment on spheroid cultured Hep G2 cell 柳生義人,馬塲雄成,大島多美子,日比野祐介,竹市悟志,佐竹卓彦,猪原武士,川崎仁晴,林信哉 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st. 2024 Preparation of the Gradient Element Functional Thin Films of Fe, Ni, Ti by Sputtering Deposition Method Using Powder Mixture Targets 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦,青木振一 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th. 2022 Development of Novel Plasma Devices for Cancer Treatment and Irradiation Effects on Liver Cancer Cells, Hep G2 浜村航大,柳生義人,馬塲雄成,大島多美子,日比野祐介,猪原武士,佐竹卓彦,川崎仁晴,林信哉 プラズマ・核融合学会年会(Web) 39th. 2022 Preparation of Hydrogen Embrittlement Resistance Thin Films by Plasma Process and Their Properties: IV 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,西口廣志 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th. 2021 Preparation of Optical Thin Film with Multilayer Structure by Sputtering Method 戸水雄斗,大島多美子,日比野祐介,猪原武士,柳生義人,川崎仁晴 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 47. 2021 Preparation of the Gradient Element Functional Thin Films by Sputtering Deposition Method Using Powder Mixture Target: II 須本航輝,鴛淵梨花,川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 47. 2021 Development of a Compact Nanosecond Pulsed Power Supply with High-Speed and High-Voltage Gate Drive and its Application 道上竣介,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴 電気学会基礎・材料・共通部門大会(Web) 2021. 2021 Possibility to Expand Material Search Range by Sputtering Film Formation using Powder Target 大島多美子,川崎仁晴,柳生義人,猪原武士,須田義昭 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2021. 2021 Preparation of Hydrogen Embrittlement Resistance Thin Films by Plasma Process and Their Properties: II 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,篠原正典,西口廣志 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th. 2020 Efficiency of Production Energy in Hydrogen Production by Nano-second Pulsed Discharge in Gas-liquid Two Phase Flow 猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集(Web) 46. 2020 さらに表示する more

書籍等出版物	books	プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会編 『プラズマ材料表面処理技術の最新動向』 電気学会技術報告第1546号 電気学会 2023年02月27日 プラズマ材料表面処理技術の動向調査専門委員会編 『プラズマ材料表面処理技術の最新動向』 電気学会技術報告第1546号 電気学会 2023/02/27

講演・口頭発表等	conference	AZOターゲットを用いた RFMS 中の負の荷電粒子エネルギー分布関数測定 松尾優花,網屋玄大,大島多美子 2026 年度日本表面真空学会九州支部学術講演会 2026年06月21日 2026年06月20日 2026年06月21日 マルチホロープラズマCVD法によるカーボンナノ粒子の作製－動作圧変化が構造特性に与える影響の検討－ 中田大夢,松葉大晟,金城光秀,四方田倫玖,柴田翔,鎌滝晋礼,白谷正治,大島多美子 2026年度日本表面真空学会九州支部学術講演会 2026年06月21日 2026年06月20日 2026年06月21日 生体内で利用可能な非平衡大気圧プラズマ照射装置の研究開発 柳生義人,馬塲雄成,大島多美子,日比野祐介,竹市悟志,佐竹卓彦,猪原武士,川崎仁晴,林信哉 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2023年 2023年 2023年 粉体ターゲットによる3元素混合薄膜の作製 I 佐竹卓彦,佐竹卓彦,大島多美子,青木振一 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2022年 2022年 2022年 粉体ターゲットプロセスによるFe,Ti混合傾斜機能性膜の作製 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦,青木振一 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022年 2022年 2022年 粉体ターゲットプラズマプロセスを用いた傾斜機能性薄膜の作製 II 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦 プラズマ・核融合学会年会(Web) 2022年 2022年 2022年 電気誘引特性を用いたジャンボタニシの密度推定および発生予察技術 柳生義人,大島多美子,猪原武士,日比野祐介,川崎仁晴 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022年 2022年 2022年 高専における半導体人材育成事業の取り組み(1) 大島多美子,猪原武士,日比野祐介,城野祐生,前田貴信,渡辺哲也,中島寛 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022年 2022年 2022年 粉体ターゲットプラズマプロセスを用いた傾斜機能性薄膜の作製 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦 プラズマ・核融合学会年会(Web) 2021年 2021年 2021年 粉体ターゲットプラズマプロセスによる傾斜機能性膜の作製 I 須本航輝,鴛淵梨花,川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2021年 2021年 2021年 AZOターゲットを用いた RFMS 中の負の荷電粒子エネルギー分布関数測定 松尾優花,網屋玄大,大島多美子 2026 年度日本表面真空学会九州支部学術講演会 2026/06/21 2026/06/20 2026/06/21 マルチホロープラズマCVD法によるカーボンナノ粒子の作製－動作圧変化が構造特性に与える影響の検討－ 中田大夢,松葉大晟,金城光秀,四方田倫玖,柴田翔,鎌滝晋礼,白谷正治,大島多美子 2026年度日本表面真空学会九州支部学術講演会 2026/06/21 2026/06/20 2026/06/21 Development of a Non-equilibrium Atmospheric Pressure Plasma Irradiation Device for in vivo Cancer Treatment 柳生義人,馬塲雄成,大島多美子,日比野祐介,竹市悟志,佐竹卓彦,猪原武士,川崎仁晴,林信哉 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2023 2023 2023 Preparing of Three-elements Thin films using Powder Target: I 佐竹卓彦,佐竹卓彦,大島多美子,青木振一 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2022 2022 2022 Preparation of the gradient element functional thin films of Fe, Ni, Ti by sputtering deposition method using powder mixture targets 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦,青木振一 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022 2022 2022 Gradient element functional thin films preparation by sputtering deposition method using some kinds of powder mixture target: II 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦 プラズマ・核融合学会年会(Web) 2022 2022 2022 Novel Density Estimation for the Plant Pest Forecasting using Electro Taxis of Apple Snail, Pomacea canaliculata 柳生義人,大島多美子,猪原武士,日比野祐介,川崎仁晴 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022 2022 2022 Initiatives for Semiconductor Human Resource Development Education At KOSEN 大島多美子,猪原武士,日比野祐介,城野祐生,前田貴信,渡辺哲也,中島寛 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2022 2022 2022 Gradient element functional thin films preparation by sputtering deposition method using some kinds of powder mixture target 川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介,佐竹卓彦 プラズマ・核融合学会年会(Web) 2021 2021 2021 Preparation of the gradient element functional thin films by sputtering deposition method using powder mixture target: I 須本航輝,鴛淵梨花,川崎仁晴,大島多美子,柳生義人,猪原武士,日比野祐介 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2021 2021 2021 さらに表示する more

担当経験のある項目	teaching experience	電気回路Ⅰ,電子回路Ⅰ・Ⅱ,電気電子工学基礎,高電圧工学,材料科学,電気機器Ⅰ,電子回路Ⅰ,半導体マニュファクチャリング総論,プラズマエレクトロニクス総論,電気の物理とその応用,プラズマ機能科学特論,応用数学C	Electric Circuits I,Electronic Circuits Ⅰ・Ⅱ,電気電子工学基礎,高電圧工学,材料科学,Electrical Machinery I,Electronic Circuits Ⅰ,Advanced Topics in Semiconductor Manufacturing,Advanced Plasma Electronins,Electrical Physics and Applications,Advanced Plasma Materials Science,応用数学C

Works

競争的資金等の研究課題	research grants	Study on Preparation of Zinc Oxide Thin Films by Laser Ablation レーザアブレーション法による酸化亜鉛薄膜の作製に関する研究 PLD法による高分子系有機材料の重合新技術開発に関する研究 財団法人材料科学技術振興財団 研究助成 2007年 - 研究代表者 高機能性薄膜作製中におけるPLDプロセスのモデリング技術開発 財団法人島津科学技術振興財団 研究会開発助成 2005年 - 研究代表者 大気圧パルスレーザ堆積法を用いたフルカラー有機EL素子の開発 財団法人日本板硝子材料工学助成会 研究助成 2003年 - 研究代表者 粉体スパッタリングによる極微量ドーピング機能性薄膜の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2023年04月 - 2026年03月 NiCO3とのヘテロ接合によるグラフェンTFTの高移動度と高オンオフ比の実現 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2021年04月01日 - 2024年03月31日 新材料開発に適用可能な粉体スパッタリングプロセスの改善 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2020年04月01日 - 2023年03月31日 粉体ターゲットのコントロールによるスパッタリング成膜の高度化 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2017年04月01日 - 2020年03月31日 裏面照射粉体PLD法による３次元構造を持つ多層多元素薄膜の作製 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2016年04月01日 - 2019年03月31日 Study on Preparation of Zinc Oxide Thin Films by Laser Ablation レーザアブレーション法による酸化亜鉛薄膜の作製に関する研究 PLD法による高分子系有機材料の重合新技術開発に関する研究 財団法人材料科学技術振興財団 研究助成 2007 - principal_investigator 高機能性薄膜作製中におけるPLDプロセスのモデリング技術開発 財団法人島津科学技術振興財団 研究会開発助成 2005 - principal_investigator 大気圧パルスレーザ堆積法を用いたフルカラー有機EL素子の開発 財団法人日本板硝子材料工学助成会 研究助成 2003 - principal_investigator Development of Functional Thin Films with Ultra-Trace Doping by Powder Sputtering Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research 2023/04 - 2026/03 Realization of graphene TFT with high mobility and high on/off ratio using NiCO3/graphene hetero -junction Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research 2021/04/01 - 2024/03/31 Improvement For Powder Sputtering Process Applicable For New Material Development Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research 2020/04/01 - 2023/03/31 Upgrading sputtering film deposition by controlling of powder target Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research 2017/04/01 - 2020/03/31 Development of the 3 dimensional structural multi-layer thin film preparation processes by the back side irradiation using powder target PLD method Japan Society for the Promotion of Science Grants-in-Aid for Scientific Research 2016/04/01 - 2019/03/31 さらに表示する more

特許	patents

社会貢献活動	social contribution	単一カソード粉体スパッタリングを用いたコンビナトリアル薄膜形成プロセスの構築 講師 日本技術士会九州本部ものづくり部会 2025年度第4回CPD 2026年03月28日 - 長崎大学CAMRISの取り組みと役割 ～半導体産業振興における産学連携・人材育成・拠点形成～ 講師 長崎県工業連合会 全体交流会 2025年12月18日 - 半導体デバイスの進化と半導体のこれから 講師 長崎工業高等学校 半導体製造技術 2025年11月14日 - プラズマ材料科学に関する研究紹介 講師 佐世保工業高等専門学校 半導体工学 2025年07月16日 - プラズマ材料科学に関する研究紹介 講師 九州大学大学院システム情報科学府 ナノプロセス工学特論 2025年06月23日 - 第3回半導体の基礎Ⅰ：結晶構造とバンド構造，半導体の分類とキャリア 講師 佐世保工業高等専門学校 半導体工学概論 2025年05月01日 - 半導体から考える未来の長崎について 講師 長崎大学教育学部付属中学校 令和6年度 第3学年「社会探求」 2024年06月13日 - 半導体の基礎と応用、長崎県における 半導体人材教育の取組み 講師 日本技術士会 九州本部​ 長崎県支部 CPD研修会 2024年06月08日 - プラズマとジャンボタニシのふしぎな関係 企画 日本表面真空学会 九州支部 2023年度市民講座 2023年12月21日 - 半導体産業で長崎の活性化を 講師 長崎大学 リレー講座2023 2023年12月18日 - 単一カソード粉体スパッタリングを用いたコンビナトリアル薄膜形成プロセスの構築 lecturer 日本技術士会九州本部ものづくり部会 2025年度第4回CPD 2026/03/28 - 長崎大学CAMRISの取り組みと役割 ～半導体産業振興における産学連携・人材育成・拠点形成～ lecturer 長崎県工業連合会 全体交流会 2025/12/18 - 半導体デバイスの進化と半導体のこれから lecturer 長崎工業高等学校 半導体製造技術 2025/11/14 - プラズマ材料科学に関する研究紹介 lecturer 佐世保工業高等専門学校 半導体工学 2025/07/16 - プラズマ材料科学に関する研究紹介 lecturer 九州大学大学院システム情報科学府 ナノプロセス工学特論 2025/06/23 - 第3回半導体の基礎Ⅰ：結晶構造とバンド構造，半導体の分類とキャリア lecturer 佐世保工業高等専門学校 半導体工学概論 2025/05/01 - 半導体から考える未来の長崎について lecturer 長崎大学教育学部付属中学校 令和6年度 第3学年「社会探求」 2024/06/13 - 半導体の基礎と応用、長崎県における 半導体人材教育の取組み lecturer 日本技術士会 九州本部​ 長崎県支部 CPD研修会 2024/06/08 - プラズマとジャンボタニシのふしぎな関係 planner 日本表面真空学会 九州支部 2023年度市民講座 2023/12/21 - 半導体産業で長崎の活性化を lecturer 長崎大学 リレー講座2023 2023/12/18 - さらに表示する more

メディア報道	media_coverage	電子デバイス最前線 THE MOVIE第17部「半導体産業とともに飛躍する”未来大国 長崎県”」 電子デバイス産業新聞 2024年07月19日 （連載記事）第2回「研究と教育 産学連携がカギ」 長崎新聞 2024年05月16日 卒業生紹介ページ 佐世保工業高等専門学校「リケジョのミライ」 2023年12月 半導体特集解説記事 長崎新聞NR 2023年09月 電子デバイス最前線 THE MOVIE第17部「半導体産業とともに飛躍する”未来大国 長崎県”」 電子デバイス産業新聞 2024/07/19 （連載記事）第2回「研究と教育 産学連携がカギ」 長崎新聞 2024/05/16 卒業生紹介ページ 佐世保工業高等専門学校「リケジョのミライ」 2023/12 半導体特集解説記事 長崎新聞NR 2023/09

学術貢献活動	academic_contribution	2026年第73回応用物理学会春季学術講演会 セッション（8.3プラズマナノテクノロジー）座長 パネル司会・セッションチェア等 応用物理学会 2026年03月18日 - 2025年（令和7年度）応用物理学会九州支部学術講演会 セッション（プラズマ）座長 パネル司会・セッションチェア等 応用物理学会九州支部 2025年12月07日 - 2026年第73回応用物理学会春季学術講演会 セッション（8.3プラズマナノテクノロジー）座長 panel_chair_etc 応用物理学会 2026/03/18 - 2025年（令和7年度）応用物理学会九州支部学術講演会 セッション（プラズマ）座長 panel_chair_etc 応用物理学会九州支部 2025/12/07 -

その他	etc